Medição de ondas de luz torna os circuitos melhores

Do Nist


Vamos falar em precisão. Novas medições de comprimentos de onda essenciais da banda de luz ultravioleta -com precisão da ordem dos milionésimos de nanômetro- estão entre as mais precisas já reportadas, e podem servir para melhorar a calibragem das ferramentas de microlitografia usadas na produção de circuitos integrados, como os que são parte dos chips de computador.

As dimensões envolvidas são 10 mil vezes menores do que átomos de hidrogênio, o menor de todos os átomos.

Para realizar as mensurações, físicos do Instituto Nacional de Padrões e Tecnologia (Nist) dos Estados Unidos usaram um espectrômetro tão sofisticado que há apenas cinco desse tipo em operação do mundo, dois dos quais no instituto. O espectrômetro, que separa e detecta comprimentos específicos de onda na radiação luminosa, oferece resolução 10 vezes melhor do que os instrumentos semelhantes usados na calibragem de aplicações altamente exigentes como o telescópio espacial Hubble. O trabalho foi reportado em fevereiro em artigo no "Journal of the Optical Society of America B".

Os cientistas mediram os comprimentos de onda da luz emitida por átomos de ferro, germânio e platina estimulados. Esses elementos foram usados como padrões de referência para os lasers excímeros de calibragem de fluoreto de argônio, que estão entre as mais recentes ferramentas para a impressão de circuitos em bolachas de silício. Os lasers de fluoreto de argônio podem ser sintonizados em uma faixa de cerca de 0,7 nanômetro, centrada em 193,4 nanômetros. A calibragem precisa garante que a luz do laser tenha o foco requerido para produzir os padrões de circuitos desejados. Calibragem melhorada seria uma maneira de ajudar o setor de semicondutores a produzir circuitos menores.

As mensurações foram financiadas parcialmente pela Lambda Physik, grande fornecedora de lasers para aplicações microlitográficas. Os resultados do programa foram incorporados a sistemas laser comerciais.


Tradução: Paulo Migliacci

 

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